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Grafik Chemie, chemische Elemente vor einer Chemieanlage bei Nacht

KATALYSATOREN UND CHEMISCHE SPEZIALITÄTEN

Trockenbettabsorption


Die Trockenbettabsorption in der Halbleiterindustrie ist ein sicheres, passives Verfahren der Abgasbehandlung von Ionenimplantationen, SiO2-Ätzen, … und als Emergency Absorber Gas cabinet. Sie entfernt giftige Stoffe durch chemische Reaktionen an festen Adsorbentien, Stichworte sind hier Chemisorption, stöchiometrische Reaktion, Reinigungsgrad. Häufig auftretende, zu entfernende Gase (toxische & Treibhausgase) sind Ammoniak, Chlorwasserstoff, Silane, NF3, CF4, SF6, AsH3, B2H6, TEAO, BCl3, …. und deren „Stoffwechselprodukte“ in den Reaktionskammern. Verwendete Adsorbentien sind z. B. Aktivkohle, Zeolithe, Eisenoxide, Silka, Zinkoxid, …. Die Trockenbettabsorption bietet hohe Effizienz und Platzersparnis. Und sie ist wartungsärmer und reduziert die Umweltbelastung gegenüber Brenner-/Wäscher-Kombinationen. Herausforderungen sind die Regeneration der Adsorbentien, die Überwachung der Betriebsbedingungen und die Entsorgung des Materials.

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Trockenbettabsorption

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